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洁净度达到要求就行了?洁净室必须达到这4个要求

时间:2020-10-28 15:36:31 来源: 点击:

  清洁度是否符合要求?洁净室必须具备的四个条件

  为了在洁净室中获得良好的清洁效果,不仅需要采取合理的空调净化措施,而且还需要在手工艺,建筑等行业采取相应的措施。不仅必须进行合理的设计,而且还必须按照规格进行仔细的构造和安装,以及正确使用无尘室以及科学地进行维护和管理。实际上,很难在不同学科之间实现理想的合作,并且设计者很难掌握建筑和安装,使用和管理的质量,尤其是后者。在洁净室净化措施方面,许多设计者或施工方常常没有充分注意必要的条件,导致清洗效果不理想。本文仅简要讨论在洁净室净化措施中达到洁净度要求的四个必要条件。

  1.气源清洁度:

  为了确保供气清洁度符合要求,关键是净化系统的最终过滤器的性能和安装。

  纯化系统的最后阶段的过滤器通常使用高效过滤器或次高效过滤器。根据中国标准,高效过滤器的效率分为四个级别:A型≥99.9%,B型≥99.9%,C型≥99.999%和D型(对于≥0.1μm的颗粒) ≥99.999%(也称为超级高效过滤器);次高效过滤器(适用于≥0.5μm的颗粒)95〜99.9%。效率越高,过滤器越昂贵。因此,在选择过滤器时,不仅要满足供气清洁度的要求,还要考虑经济性和合理性。考虑到清洁度要求,原则是为低级洁净室使用低性能过滤器,为高级洁净室使用高性能过滤器。一般来说:一百万个等级可以选择高效率和中效率的过滤器;小于10,000级可以选择亚高效过滤器或A型高效过滤器; 10,000至100级使用B型过滤器; 100到1级使用C型过滤器。每个清洁度等级似乎有两种类型的过滤器。高性能或低性能的选择取决于特定情况:当环境污染严重,室内排气比例大或无尘室时,特别重要的是,需要更大的安全系数。在这些情况或其中一种情况下,应选择更高类型的过滤器;否则,应选择性能较低的滤波器。对于要求控制0.1μm颗粒的洁净室,无论要控制颗粒浓度的高低,都应选择D级过滤器。以上只是从过滤器的角度来看。实际上,选择一个好的过滤器,必须充分考虑洁净室,过滤器和净化系统的特点。

  为了确保空气供应的清洁,仅合格的过滤器是不够的,而且还要确保:过滤器在运输和安装过程中没有损坏; b。安装紧密。为此,需要训练有素的建筑和安装人员,同时具备安装净化系统的知识和熟练的安装技能,否则将很难确保过滤器不被损坏。在这方面有深刻的教训。其次,安装紧密度的问题主要取决于安装结构的质量。设计手册通常建议:对于单个过滤器,请使用裸露的安装类型,这样即使发生泄漏,也不会泄漏到房间中。使用成品高效空气出口,密封性也更容易得到保证。对于具有多个过滤器的空气,近年来经常使用液罐密封和负压密封。油箱密封件必须确保油箱连接处牢固且整个框架处于同一高度。负压密封是指过滤器与静压箱与框架之间的接合处的外周处于负压状态,即使泄漏,也不会像表面安装型那样泄漏到室内。实际上,只要安装框架是平坦的并且过滤器的端面与安装框架均匀地接触,应该说对于任何安装类型而言,实现过滤器的密封性并不困难。

  2.气流组织:

  洁净室的气流组织与普通空调室的气流组织不同。它要求首先将最清洁的空气发送到操作部件。其功能是限制和减少加工材料的污染。因此,在设计气流组织时应考虑以下原则:最小化湍流并避免将污染带入工作区域之外;尝试防止二次灰尘飞扬,以减少灰尘污染工件的机会;工作区域中的气流要尽量保持均匀,风速必须满足过程和卫生要求,并且当气流流向回风口时,必须有效清除空气中的灰尘。根据不同的清洁要求,选择不同的送风和回风方式。

  不同的气流组织具有各自的特征和范围:

  1)垂直单向流动:可获得均匀的向下气流,便于工艺设备的布置,具有很强的自净能力,并可以简化个人净化设备等常用设备。除共有的优点外,四种送风方式各有优点和缺点:布满式高效过滤器具有阻力低,过滤器更换周期长的优点,但吊顶结构复杂,成本高;侧布高效过滤器顶部进料,全孔板顶部过滤器和全高效过滤器顶部进料具有相反的优缺点。当全孔顶输送系统不连续运行时,孔板的内表面容易积灰,维护不善,对清洁度有一定影响;密集的扩散器顶部输送需要混合层,因此仅适用于4m以上。高洁净室的特性类似于全孔板顶部输送。将回风口均匀地布置在格栅两侧和墙壁相对两侧下部的回风方法仅适用于净距小于6m的洁净室。一侧墙壁下方的回风口仅适用于离墙壁较近(例如≤> 2〜3m)的洁净室。

  2)水平单向流动:仅在第一个工作区域达到100级清洁度。当空气流向另一侧时,灰尘浓度逐渐增加,因此仅适用于在同一房间过程中具有不同清洁度要求的清洁度。房间;空气供应壁在水平方向上局部铺有高效过滤器,可以减少高效过滤器的数量并节省初期投资,但局部地区会产生涡流。

  3)湍流:孔顶输送和致密扩压器顶输送的特性与上述相同:侧输送的优点是易于布置管道,不需要技术夹层,成本低,这是有益的翻新旧工厂。缺点是工作区域的风速。较大的顺风侧比逆风侧具有更高的粉尘浓度。高效过滤器的顶部输送具有系统简单,高效过滤器后无管道,将洁净的空气直接输送到工作区域的优点,但洁净的空气传播较慢,气流在工作区域比较慢。制服;但是,当多个出风口均匀布置或使用带有扩散器的高效过滤器出风口时,可使工作区域内的气流更均匀。但是在系统不连续运行的情况下,扩散器很容易积聚灰尘。

  以上讨论处于较为理想的状态,相关的国家法规,标准或设计手册也建议您进行讨论。在实际项目中,由于设计人员的客观条件或主观原因,可能无法设计气流组织。常见的是:垂直单向流从壁的相邻两侧的下部获取回流空气,而部分100层采用上部和上部回流。 (即在局部出风口下方不加垂降帘),紊流式洁净室采用高效过滤器出风口送回顶部或单侧下部(壁间距离较大),等等。这些气流组织方法已经过测试,并且很干净,其中大多数不符合设计要求。根据现行法规的规定,无尘室或静态室必须在空或静态条件下勉强达到设计的洁净度,但其抗污染干扰能力很低,一旦洁净室进入工作状态,其洁净度就会降低。无法满足要求。正确的空气分配局部区域应设置垂悬于工作区域高度的窗帘,并且不应将100,000的水平送回。大多数工厂还生产带有扩散器的高效空气出口。扩散器仅是装饰孔,不起到扩散气流的作用。设计师和用户应特别注意。

洁净度达到要求就行了?洁净室必须达到这4个要求

  三,送风量或风速:

  足够的通风率是为了稀释和消除室内污染的空气。根据不同的清洁要求,当洁净室高度较高时,应适当增加通风频率。其中,一百万级洁净室的通风按高中效净化系统考虑,其余按高效净化系统考虑;当十万级洁净室高效过滤器布置在机房中央或系统端采用亚高效过滤器时,适当增加通风频率10-20%。

  四,静压差:

  在无尘室中保持一定的正压力是确保无尘室受到污染或保持其洁净度的必要条件之一。即使在负压洁净室中,也必须具有不低于其清洁度水平的相邻房间或套房,以维持一定的正压,以便可以维持负压洁净室的清洁度。

  洁净室的正压值是指门和窗全部关闭时室内静压大于室外静压的值。通过该方法实现了,净化系统的空气供应量大于回流空气量和排气空气量。为了确保洁净室的正压值,最好将供气,回风和排气扇联锁。打开系统电源时,先启动送风风扇,然后再启动回风风扇和排气风扇;关闭系统时,将首先关闭排气风扇,然后关闭风扇和送风风扇。 ,以防止在打开和关闭系统时对洁净室造成污染。

  在洁净室中维持正压所需的风量主要取决于维护结构的密封性。由于我国无尘室建设初期封闭结构的气密性较差,必须保持≥5Pa的正压,需要2-6次/ h的气流;维修结构的气密性大大提高,相同的正压供气量仅为每小时1〜2次。维持≥1OPa也仅需要2〜3次/小时的供气量。

  对于洁净室,必须同时满足上述四个必要条件,以确保洁净度符合要求并具有适当的抗污染干扰能力。

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